[发明专利]一种楔形基片研磨装置及其工作方法有效
| 申请号： | 201811142042.3 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109159019B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 康仁科;朱祥龙;李彧;董志刚;高尚;郭江;金洙吉 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/27;B24B49/10 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种楔形基片研磨装置及其工作方法，所述的装置包括刻度板、配重砝码、电涡流传感器、真空吸管和陶瓷吸盘，所述的电涡流传感器共有三个，三个电涡流传感器构成在线检测单元；所述的配重砝码通过螺栓固定在刻度板上，固定在刻度板上位置根据配重要求进行调整，所述的配重砝码构成上盘配重单元。本发明采用由在线检测单元和上盘配重单元组成的一体化结构，在一台装置上完成基片的厚度在线检测和配重调整，不需要另行外接厚度检测和配重调整设备即可完成基片的楔角加工，具有结构简洁、性能优良、操作简便快捷的特点。本发明解决了由于角度过小难以加工的问题，提高了楔形基片楔角研磨加工精度，降低了对操作人员的依赖性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 楔形 研磨 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种楔形基片研磨装置，其特征在于：包括基座(1)、刻度板(2)、配重砝码(3)、连接板(4)、电涡流传感器(5)、立柱(6)、顶板(7)、接头(8)、真空吸管(9)和陶瓷吸盘(13)，所述的基座(1)的底部嵌有圆状的陶瓷真空吸盘，在基座(1)的上面固定刻度板(2)，刻度板(2)的上面固定连接板(4)，所述的连接板(4)和刻度板(2)通过螺钉B(12)与基座(1)固定在一起；所述的立柱(6)的下部通过自身螺纹固定在连接板(4)上，从而将真空吸管(9)支撑起来，立柱(6)上部通过螺钉A(10)与顶板(7)连接；所述的接头(8)通过顶板(7)连接在真空吸管(9)的上方；所述的电涡流传感器(5)共有三个，三个电涡流传感器(5)通过自身螺纹穿过刻度板(2)均匀分布固定在基座(1)的等半径圆上；三个电涡流传感器(5)构成在线检测单元；所述的配重砝码(3)通过螺栓(11)固定在刻度板(2)上，固定在刻度板(2)上位置根据配重要求进行调整，所述的配重砝码(3)构成上盘配重单元。
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