[发明专利]一种太阳能单晶硅片生产用夹取装置在审
申请号: | 201811144293.5 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109390271A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 陆志鹏 | 申请(专利权)人: | 安徽兆拓新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 合肥道正企智知识产权代理有限公司 34130 | 代理人: | 谢伟 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能单晶硅片生产用夹取装置,包括支撑箱、转动连接在支撑箱内底壁上的旋转杆、旋转杆上端固定套接的顶板和顶板下端固定连接的液压缸,所述液压缸的下端固定连接有伸缩机构,且伸缩机构的下端垂直连接有夹取机构,所述支撑箱的上端固定连接有放置台,且放置台的上端抵触有单晶硅片本体。与现有技术相比,本发明克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,有效的夹紧单晶硅片本体,并可根据加工工序的需要,带动单晶硅片本体上下左右运动,在合适的位置放置好单晶硅片本体,避免加工人员接触到单晶硅片本体,有利于提高单晶硅片本体的质量。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅片 下端 太阳能单晶硅片 夹取装置 上端固定 伸缩机构 放置台 旋转杆 液压缸 支撑箱 垂直连接 夹取机构 加工工序 位置放置 转动连接 左右运动 上端 底壁 夹紧 套接 抵触 生产 支撑 加工 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能单晶硅片生产用夹取装置,包括支撑箱(1)、转动连接在支撑箱(1)内底壁上的旋转杆(2)、旋转杆(2)上端固定套接的顶板(3)和顶板(3)下端固定连接的液压缸(4),其特征在于:所述液压缸(4)的下端固定连接有伸缩机构(5),且伸缩机构(5)的下端垂直连接有夹取机构(6),所述支撑箱(1)的上端固定连接有放置台(7),且放置台(7)的上端抵触有单晶硅片本体(8);所述夹取机构(6)包括外壳(61)、液压盒(62)、第二活塞(63)、液压杆(64)、第三套筒(65)、第二电磁铁(66)、永磁铁(67)和夹板(68),所述外壳(61)的上端与伸缩机构(5)的下端垂直连接,且外壳(61)的内侧壁固定连接有液压盒(62),所述液压盒(62)的内侧壁滑动连接有第二活塞(63),且第二活塞(63)远离伸缩机构(5)一侧的侧壁上垂直连接有液压杆(64)的一端,所述液压杆(64)的另一端贯穿液压盒(62)的侧壁并到达外壳(61)的内腔,所述液压杆(64)的侧壁上对称垂直连接有两个固定杆相对的一端,且固定杆的另一端到达第三套筒(65)的内腔并垂直连接有第二电磁铁(66),所述第二电磁铁(66)与第三套筒(65)的内侧壁滑动连接,且两个第三套筒(65)相互远离的一端分别垂直连接有两个夹板(68)相对的一侧,所述固定杆上套接有第一弹簧,且第一弹簧的两端分别与液压杆(64)和第三套筒(65)的侧壁连接,两个所述第三套筒(65)相互远离一侧的内侧壁固定连接有永磁铁(67),两个所述夹板(68)远离液压盒(62)的一端贯穿外壳(61)侧壁上开设的条形通孔并到达外壳(61)的外腔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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