[发明专利]一种铝氮钪合金靶材的制备方法和应用有效
| 申请号： | 201811144407.6 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109267020B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 丁照崇;李勇军;何金江;王兴权;雷继锋;庞欣;贺昕;刘晓 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C22C1/05;C22C1/10;C22C32/00;C22C29/16;C22C28/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100088 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制备技术领域的一种铝氮钪合金靶材的制备方法和应用。该方法以AlN粉、Sc粉为原料，经混合、压力烧结成型、机加工得到铝氮钪合金靶材，所得铝氮钪合金靶材的相对密度大于97％，能够应用于溅射沉积氮化物膜，溅射镀膜过程中，无需通入反应气体氮气即能稳定成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝氮钪 合金 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种铝氮钪合金靶材的制备方法，其特征在于，以AlN粉、Sc粉为原料，经混合、压力烧结成型、机加工得到铝氮钪合金靶材，其中铝氮钪合金(AlN)1‑xScx，x为0.1％～99.9％。
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