[发明专利]一种相位型衍射光栅有效
| 申请号： | 201811147241.3 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109212641B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;牛洁斌;王冠亚;李海亮;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为P |
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| 搜索关键词： | 一种 相位 衍射 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种相位型衍射光栅，其特征在于，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为Px，纵向周期为Py；所述栅孔的尺寸与所述横向周期Px和纵向周期Py呈预设比例；所述薄膜衬底的厚度根据入射光的波长的值确定。
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