[发明专利]载体晶片和形成载体晶片的方法在审
| 申请号： | 201811147777.5 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110962039A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | L·C·金;鲁飞;欧阳煦;Y·G·潘 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及载体晶片和形成载体晶片的方法。形成载体晶片的方法包括如下步骤：对载体晶片的第一表面和第二表面进行研磨，使得载体晶片是基本平坦的，所述载体晶片包括玻璃、玻璃陶瓷或者陶瓷材料，其中，在研磨之后，载体晶片的直径是250mm至450mm和厚度是0.5mm至2mm；以及通过载体晶片的中心部分与边缘部分之间的不同的压力、不同的速度或不同的时间中的至少一种，对载体晶片的第一表面进行抛光，使得第一表面具有凸或凹形状。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 晶片 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁股份有限公司，未经康宁股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811147777.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：酵母水解物及其制备方法和应用
- 下一篇：一种ECU故障智能诊断系统
