[发明专利]一种调制带宽大的光波导相位调制器芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 201811150338.X | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109143620A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨彦伟;刘宏亮;曾建武;邹颜 | 申请（专利权）人： | 深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 田俊峰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种调制带宽大的光波导相位调制器芯片，包括基片，基片上设有Y波导；Y波导包括入射光波导及两个分支光波导；基片上还设置有：第一高速相位调制电极；通过第一电阻与第一高速相位调制电极电连接的第二高速相位调制电极；通过焊线与第二高速相位调制电极电连接，且通过第二电阻与第一高速相位调制电极电连接的第三高速相位调制电极；一种调制带宽大的光波导相位调制器芯片的制备方法，包括：对溅射金属进行处理，形成第一高速相位调制电极、第二高速相位调制电极和第三高速相位调制电极的图形；将第一电阻焊接于第二高速相位调制电极与第一高速相位调制电极之间，将第二电阻焊接于第一高速相位调制电极与第三高速相位调制电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 高速相位调制 电极 电极电连接 相位调制器 光波导 调制 电阻焊接 芯片 电阻 制备 分支光波导 入射光波导 焊线 溅射 金属 | ||
【主权项】：
1.一种调制带宽大的光波导相位调制器芯片，其特征在于：包括基片，所述基片上设有Y波导；所述Y波导包括入射光波导及与所述入射光波导相连接的两个分支光波导；所述基片上还设置有：位于两个所述分支光波导之间的第一高速相位调制电极；位于两个所述分支光波导外一侧，且通过第一电阻与所述第一高速相位调制电极电连接的第二高速相位调制电极；位于两个所述分支光波导外另一侧，通过至少一根焊线与所述第二高速相位调制电极电连接，且通过第二电阻与所述第一高速相位调制电极电连接的第三高速相位调制电极。
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