[发明专利]一种掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201811151706.2 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109097730B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 罗程远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种掩膜板及其制作方法，涉及掩膜蒸镀技术领域，用于防止拉伸掩膜片时对掩膜区域造成损坏的问题。该掩膜板的制作方法包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将掩膜片与塑形模具进行粘合；通过张网工艺将掩膜片固定在框架上；将塑形模具与掩膜片分离，以形成掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合；通过张网工艺将所述掩膜片固定在框架上；将所述塑形模具与所述掩膜片分离，以形成所述掩膜板。
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