[发明专利]OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置及其工艺在审
| 申请号： | 201811154259.6 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109107997A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈文勇 | 申请（专利权）人： | 上海钥熠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 胡永宏 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置及其工艺，干冰清洗装置包括干冰发生器、设有负压引流装置的材料收集器和清洗腔体，待清洗的OLED蒸镀用挡板置于清洗腔体内，清洗腔体为透明或半透明的封闭结构，顶部设有风机过滤机组，底部与材料收集器连接，内部设有挡板固定装置，干冰发生器与清洗腔体内部连接；清洗工艺包括(ⅰ)干冰清洗，和(ⅱ)纯水清洗，和(ⅲ)干燥，和(ⅳ)喷砂；采用干冰清洗替代传统有机溶剂清洗，降低挡板清洗成本，OLED材料回收方便且回收效率高，环境友好。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 干冰清洗装置 蒸镀 清洗 材料收集 干冰清洗 清洗腔体 发生器 清洗腔 干冰 挡板固定装置 风机过滤机组 负压引流装置 回收 纯水清洗 封闭结构 环境友好 清洗工艺 有机溶剂 半透明 体内部 喷砂 体内 透明 替代 | ||
【主权项】：
1.OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置，其特征在于，包括干冰发生器、材料收集器和清洗腔体，待清洗的OLED蒸镀用挡板置于所述清洗腔体内；其中，所述清洗腔体为透明或半透明的封闭结构，顶部设有风机过滤机组，底部与所述材料收集器连接，内部设有所述待清洗OLED蒸镀用挡板的固定装置；所述干冰发生器与所述清洗腔体内部连接；所述材料收集器设有负压引流装置。
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