[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，对被加工物照射激光光线而进行加工时，不妨碍对被加工物照射激光光线。激光加工装置(2)至少包含：具有对被加工物(10)进行保持的保持工作台(32)的保持单元(30)；和对被加工物照射激光光线(LB)而实施加工的激光光线照射单元(6)，在保持单元的上部配设有液体提供机构(40)，该液体提供机构包含：液体腔室(41)，其具有被定位成与被加工物的上表面之间形成间隙的透明板(42a)；液体提供喷嘴(43)，其从液体腔室的一方将液体(W)提供至间隙；和液体排出喷嘴(44)，其从液体腔室的另一方回收液体而产生液体的流动，激光光线照射单元至少包含：振荡器(82)，其振荡出激光光线；和聚光器(86)，其对激光光线进行会聚并透过透明板和提供至间隙的液体而照射至被加工物。

主权项

1.一种激光加工装置，其至少包含：保持单元，其具有对板状的被加工物进行保持的保持工作台；以及激光光线照射单元，其对该保持工作台所保持的被加工物照射激光光线而实施加工，其中，在该保持单元的上部配设有液体提供机构，该液体提供机构包含：液体腔室，其具有透明板，该透明板被定位成与该保持工作台所保持的被加工物的上表面之间形成间隙；液体提供喷嘴，其从该液体腔室的一方将液体提供至该间隙；以及液体排出喷嘴，其从该液体腔室的另一方回收液体而产生液体的流动，该激光光线照射单元至少包含：振荡器，其振荡出激光光线；以及聚光器，其对该振荡器所振荡出的激光光线进行会聚，并透过该透明板和提供至该间隙的液体而对该保持工作台所保持的被加工物进行照射。