[发明专利]一种用于显示面板的制造设备和清洗方法在审
| 申请号： | 201811158805.3 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109212793A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘重阳 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于显示面板的制造设备和清洗方法。包括：机台，用于承载和传送玻璃基板；工作管道，设在所述机台的上方，用于输送物料作用于所述玻璃基板；供气装置，与所述工作管道通过供气管路连通；供液装置，与所述工作管道通过供液管路连通；其中，所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置，所述供气管路上设有第一自动阀，所述供液管路上设有第二自动阀，对机台和工作管道进行清洗，减缓工作管道出口上的结晶速度或除掉工作管道出口的结晶，减少玻璃基板上的光阻脱落，最终提高显示面板制程的稳定性且节约显示面板的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 工作管道 机台 显示面板 玻璃基板 清洗 供气管路 制造设备 自动阀 连通 传送玻璃基板 供气装置 供液管路 供液装置 检测装置 输送物料 供液管 除掉 光阻 制程 生产成本 出口 承载 传送 检测 节约 | ||
【主权项】：
1.一种用于显示面板的制造设备，其特征在于，包括：机台，用于承载和传送玻璃基板；工作管道，设在所述机台的上方，用于输送物料作用于所述玻璃基板；供气装置，与所述工作管道通过供气管路连通；供液装置，与所述工作管道通过供液管路连通；其中，所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置，所述供气管路上设有第一自动阀，所述供液管路上设有第二自动阀，所述检测装置与所述第一自动阀和所述第二自动阀耦接。
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