[发明专利]一种在基板中形成微细结构的方法及微细结构有效
| 申请号： | 201811160202.7 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110963458B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王诗男 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种在基板中形成微细结构的方法及微细结构，该方法包括：在基板的表面形成复数个孔洞，所述孔洞的横向尺寸为0.1‑5微米；以及将具有所述复数个孔洞的所述基板在氢气气氛中进行加热到预定温度的处理，通过所述处理，所述复数个孔洞在所述基板的内部互相连通形成空腔，并且，在所述基板的表面形成覆盖所述空腔的薄膜。根据本申请，能够使空腔的制造工艺比较简单、空腔形态容易控制，并且，由于空腔的背面有基板的保护，空腔上方的悬空微细结构不易受损伤，对微细结构的制造工艺和使用方式的限制减少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板中 形成 微细 结构 方法 | ||
【主权项】：
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