[发明专利]光源衰减装置及光刻机有效
| 申请号： | 201811161692.2 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110967930B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王彦飞;周伟;章富平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种光源光源衰减装置，包括第一衰减模块、第二衰减模块、水平运动机构和垂向运动机构；所述第一衰减模块包含第一透光区域和第二透光区域；所述第二衰减模块上包含与所述第一透光区域配合的第三透光区域和与所述第二透光区域配合的第四透光区域；所述水平运动机构与所述第一衰减模块连接，以调整所述第一透光区域或第二透光区域对准光源；所述垂向运动机构设置于所述水平运动机构上，所述垂向运动机构还与所述第二衰减模块相连，使所述第二衰减模块与所述第一衰减模块能够在垂向上发生相对位移，从而使所述第一透光区域和第二透光区域的综合透光率能够均匀的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 衰减 装置 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811161692.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：识别冰箱内食材种类的方法与冰箱
- 下一篇：驱动桥和具有其的车辆
