[发明专利]一种电力电子器件芯片生产用辅助装置在审
申请号: | 201811165695.3 | 申请日: | 2018-10-08 |
公开(公告)号: | CN109273386A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 王昌华 | 申请(专利权)人: | 盐城盈信通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 224000 江苏省盐城市盐城经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及芯片生产设备附属装置的技术领域,特别是涉及一种电力电子器件芯片生产用辅助装置,其可以放置多种尺寸的晶圆片,同时能够便捷的对晶圆片的角度进行微调;并且能够精确的定位切割机的切割角度,保证晶圆片的切割精度;包括操作台、固定架、切割机和晶圆片,切割机上设置有专用切割片;还包括支座、四组支撑杆、四组滑片、四组固定板、转动环和中心轴,还包括左限位头、右限位头、限位弹簧、左带动杆、右带动杆、左调节钮和右调节钮,中心轴的内部设置有工作腔;还包括支撑滑动杆、挑杆、纵向调节杆、卡块、下双耳紧固螺丝、中双耳紧固螺丝、上双耳紧固螺丝、控制块、穿透杆和转向环,支座的左侧内部设置有滑动腔。 | ||
搜索关键词: | 晶圆片 切割机 紧固螺丝 双耳 电力电子器件 辅助装置 内部设置 芯片生产 带动杆 限位头 中心轴 切割 操作台 芯片生产设备 支撑滑动杆 纵向调节杆 附属装置 限位弹簧 穿透杆 工作腔 固定板 固定架 滑动腔 切割片 支撑杆 转动环 转向环 滑片 卡块 挑杆 微调 保证 | ||
【主权项】:
1.一种电力电子器件芯片生产用辅助装置,包括操作台(1)、固定架、切割机(2)和晶圆片(3),所述切割机(2)上设置有专用切割片;其特征在于,还包括支座(4)、四组支撑杆(5)、四组滑片(6)、四组固定板(7)、转动环(8)和中心轴(9),所述支座(4)的底端与操作台(1)的顶端中部连接,所述四组支撑杆(5)的底端分别与支座(4)顶端的前侧、后侧、左侧和右侧连接,所述四组滑片(6)分别设置有四组滑轨,所述四组支撑杆(5)的顶端分别与四组滑轨滑动卡装,所述四组支撑杆(5)的顶端分别设置有四组固定帽,所述四组滑片(6)的内侧端分别与转动环(8)的外侧壁的前端、后端、左端和右端铰接,所述四组滑片(6)的外侧端分别与四组固定板(7)的内侧壁的中部区域铰接,所述转动环(8)与中心轴(9)的顶部区域转动卡装,所述中心轴(9)的底端与支座(4)的顶端中部连接,还包括左限位头(10)、右限位头、限位弹簧(11)、左带动杆(12)、右带动杆、左调节钮(13)和右调节钮,所述中心轴(9)的内部设置有工作腔,所述工作腔的左侧壁和右侧壁的上侧分别连通设置有左挤压口和有挤压口,所述左限位头(10)的左端和右限位头的右端自工作腔内分别穿过左挤压口和右挤压口并且均伸出至工作腔外侧,所述左限位头(10)的左端和右限位头的右端分别与转动环(8)的内侧壁的左端和右端紧贴,所述左限位头(10)的右端和右限位头的左端分别设置有左限位片和右限位片,所述限位弹簧(11)的左端和右端分别与左限位片的右侧壁和右限位片的左侧壁连接,所述左带动杆(12)的顶端和右带动杆的顶端分别与左限位片的底端和右限位片的底端连接,所述左调动杆的底端和右带动杆的底端分别与工作腔的左侧壁和右侧壁的下部区域铰接,所述工作腔的左侧壁和右侧壁的上部区域分别连通设置有两组调节孔,所述左调节钮(13)的左端和右调节钮的右端均自工作腔内分别穿过两组调节孔并且均伸出至工作腔外侧,所述左调节钮(13)的右端下侧和右调节钮的左端下侧分别与左带动杆(12)的左侧壁中部和右带动杆的右侧壁中部紧贴,所述四组固定板(7)的内侧壁上侧均与晶圆片(3)的圆周侧壁的下部区域紧贴;还包括支撑滑动杆(14)、挑杆(15)、纵向调节杆(16)、卡块(17)、下双耳紧固螺丝(18)、中双耳紧固螺丝(19)、上双耳紧固螺丝(20)、控制块(21)、穿透杆(22)和转向环(23),所述支座(4)的左侧内部设置有滑动腔,所述滑动腔的左侧壁连通设置有调节孔,所述支撑滑动杆(14)的下侧右端自支座(4)的左侧穿过调节孔并且伸入至滑动腔内部,所述支撑滑动杆(14)的下侧右端设置有调节块,所述调节块与滑动腔滑动卡装,所述滑动腔的顶端设置有下紧固螺纹孔,所述下双耳紧固螺丝(18)的底端自支座(4)的上侧螺装穿过下紧固螺纹孔并且伸入至滑动腔内部,所述下双耳紧固螺丝(18)的底端与调节块的顶端紧贴,所述支撑滑动杆(14)的顶端与卡块(17)的底端连接,所述卡块(17)与挑杆(15)滑动卡装,所述卡块(17)的前端中部贯穿设置有中紧固螺纹孔,所述中双耳紧固螺丝(19)的后端自卡块(17)的前侧螺装穿过中紧固螺纹孔并且伸入至卡块(17)的中部区域,所述中双耳紧固螺丝(19)的后端与挑杆(15)的前侧壁紧贴,所述纵向调节杆(16)的中部区域内部设置有调节腔,所述调节腔的左侧壁和右侧壁连通设置有左移动孔和右移动孔,所述穿透杆(22)的左端与挑杆(15)的右端中部连接,所述穿透杆(22)的右端自纵向调节杆(16)的左侧穿过左移动孔并且伸入至调节腔内,所述穿透杆(22)的右端继续自调节腔内穿过有移动孔并伸出至调节腔外侧,所述控制块(21)与穿透杆(22)固定套装,所述控制块(21)与调节腔滑动卡装,所述转向环(23)与纵向调节杆(16)的上部区域转动卡装,所述转向环(23)的外圆周侧壁的前端贯穿设置有上紧固螺纹孔,所述上双耳紧固螺丝(20)的后端自转向环(23)的前侧螺装穿过上紧固螺纹孔并且与纵向调节杆(16)的上部区域的前侧壁紧贴,所述切割机(2)的底端设置有安装板,所述安装板的底端右侧与转向环(23)的顶端连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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