[发明专利]一种半导体器件装置在审
申请号: | 201811169037.1 | 申请日: | 2018-10-08 |
公开(公告)号: | CN109300813A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 吴娜 | 申请(专利权)人: | 诸暨市永奇电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311800 浙江省绍兴市诸暨市陶*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种半导体器件装置,包括装置主体、设置于所述装置主体内的贴膜装置以及设置于所述装置主体内的补充装置,所述贴膜装置包括设置于所述装置主体右端内的工作腔,所述工作腔的右侧内壁设置有左右贯穿的芯片入口,所述工作腔的左侧内壁上设置有开口向右的第一滑槽,所述第一滑槽内设置有可滑动且右端延伸入所述工作腔内的第一滑块,所述第一滑块内设置有可转动的第一转轴,所述第一转轴的右端固定连接有与所述芯片入口对齐的气动夹取块;本装置能够自动化对半导体器件芯片进行贴膜加工处理,方便后续的芯片切割加工,装置的操作简单可以提高人员使用的舒适性,减少人员的运营时间加快加工效率,可循环使用且使用寿命长,成本低耗能少。 | ||
搜索关键词: | 装置主体 工作腔 半导体器件装置 第一滑块 贴膜装置 芯片入口 滑槽 转轴 半导体器件芯片 补充装置 加工效率 气动夹取 人员使用 使用寿命 芯片切割 右侧内壁 左侧内壁 对齐 低耗能 可滑动 可循环 可转动 舒适性 贴膜 开口 自动化 贯穿 延伸 运营 加工 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件装置,包括装置主体、设置于所述装置主体内的贴膜装置以及设置于所述装置主体内的补充装置,所述贴膜装置包括设置于所述装置主体右端内的工作腔,所述工作腔的右侧内壁设置有左右贯穿的芯片入口,所述工作腔的左侧内壁上设置有开口向右的第一滑槽,所述第一滑槽内设置有可滑动且右端延伸入所述工作腔内的第一滑块,所述第一滑块内设置有可转动的第一转轴,所述第一转轴的右端固定连接有与所述芯片入口对齐的气动夹取块,所述第一滑槽的上下侧内壁对称设置有开口相对的齿轮槽,所述齿轮槽内设置有与所述第一滑块上下端啮合配合连接的电动齿轮,所述第一转轴的左端设置有开口向左的花键槽,所述第一滑槽的左侧内壁内设置有第一传动腔,所述第一传动腔内设置有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮的轴心处固定连接有右端延伸通入所述第一滑槽内且与所述花键槽配对的花键轴,所述第一锥齿轮的上端啮合配合连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮的轴心处固定连接有第二转轴,所述第一传动腔的上侧内壁设置有开口向下的第二滑槽,所述第二滑槽内设置有可上下滑动且下端通过轴承与所述第二转轴转动配合连接的第二滑块,所述第二滑块的左右端对称且固定连接有定向复位装置,所述第一传动腔的下侧内壁内设置有复位腔,所述第二转轴的下端延伸通入所述复位腔内且通过轴承转动配合于可在且内滑动的复位块上,所述复位块的下端固定连接有复位弹簧,所述第二转轴上固定连接有第一齿轮,所述第一传动腔的右侧内壁设置有开口向左的驱动槽,所述驱动槽内设置有与所述第一齿轮啮合配合连接的第二齿轮,所述第三齿轮的轴心处固定连接有上端动力配合连接于固定设置在所述驱动槽上侧内壁内第一电机上的输出转轴,所述装置主体内设置有膜定位装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诸暨市永奇电子科技有限公司,未经诸暨市永奇电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811169037.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造