[发明专利]外延灯管辅助检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201811169153.3 | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN109387794A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 张逸杰;王婷 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/44 | 分类号： | G01R31/44 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 刘翔 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种外延灯管辅助检测装置及其检测方法，用于对设置于一外延机台内的若干灯管执行检测，包括控制单元，独立控制每个灯管的开启和关闭；多个测温单元，每个测温单元设置于每个灯管，测温单元检测其对应的灯管在一设定时间内的温度并将检测结果发送至控制单元；控制单元根据检测结果得到灯管的升温速率，以判断出灯管是否需要更换。本发明能够使操作人员远离灯管区域，并由单人执行数字化操作即可完成灯管检测。 | ||
| 搜索关键词： | 灯管 测温单元 检测 辅助检测装置 检测结果 机台 数字化操作 独立控制 发送 | ||
【主权项】：
1.一种外延灯管辅助检测装置，用于对设置于一外延机台内的若干灯管执行检测，其特征在于，包括：控制单元，包括主控制单元，所述主控制单元设置于所述外延机台外侧，所述控制单元电性连接所述灯管，并独立控制每个所述灯管的开启和关闭；多个测温单元，每个所述测温单元设置于每个所述灯管，所述测温单元检测其对应的所述灯管在一设定时间内的温度并将检测结果发送至所述控制单元；其中，所述控制单元根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率，以判断出所述灯管是否需要更换。
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