[发明专利]一种基于横向剪切干涉的玻璃板厚度分布测量方法及系统有效
| 申请号： | 201811170087.1 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109059787B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 曹章;徐立军;任宇罡;汤晓阳;解恒 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于横向剪切干涉的玻璃板厚度分布测量方法及系统，所用元件包括：可见光激光器、衰减片、偏振片、扩束镜、第一光阑、空间光调制器、第二光阑、第一凸透镜、第二凸透镜、平行玻璃平板、待测玻璃板、第三凸透镜、面阵CCD相机、PC机。通过以下步骤实现对玻璃平板厚度分布的测量：在横向大剪切干涉装置中引入空间光调制器，对出射光施加相移变化量，用实时解算递归最小二乘法得到干涉光强与相移的拟合曲线，计算放置待测玻璃板前后参数变化，求出待测玻璃板在0～2π间的相位分布；采用不同波长下的干涉图像求解同余方程组以确定光程差所引起的相位变化，获得准确的相位分布，从而得到玻璃板厚度分布。该发明测量和解算同步，速度快、精度高，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃板 厚度分布 凸透镜 测量方法及系统 横向剪切干涉 空间光调制器 相位分布 光阑 测量 递归最小二乘法 方程组 可见光激光器 平行玻璃平板 应用前景广阔 面阵CCD相机 玻璃平板 参数变化 干涉图像 剪切干涉 拟合曲线 实时解算 相位变化 相移变化 出射光 干涉光 光程差 扩束镜 偏振片 衰减片 波长 求解 相移 施加 引入 | ||
【主权项】：
1.一种基于横向剪切干涉的玻璃板厚度分布测量方法及系统，该方法是基于横向剪切干涉的玻璃板厚度分布测量系统实现的，系统包括：可见光激光器、衰减片、偏振片、扩束镜、第一光阑、空间光调制器、第二光阑、第一凸透镜、第二凸透镜、平行玻璃平板、待测玻璃板、第三凸透镜、面阵CCD相机、PC机，其特征在于：可见光激光器发出的激光经过衰减、偏振、空间光调制器反射以及扩束后，在平行玻璃平板前后两个表面反射，两束反射光在交叠的区域发生干涉，通过第三凸透镜缩小光束至面阵CCD相机实现干涉光强的探测；/nPC机控制空间光调制器对出射光施加相移变化量，面阵CCD相机采集的干涉光强值随之发生变化，采用实时解算递归最小二乘的方法，得到空场情况下干涉光强与相移的拟合曲线，α
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