[发明专利]一种压电传感器在审
| 申请号： | 201811171661.5 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109509830A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 陈显锋 | 申请（专利权）人： | 佛山市卓膜科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/08;H01L41/113 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫 |
| 地址： | 528251 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电传感器，包括底座，依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1‑10μm。本发明的压电传感器结构简单、体积小、重量轻、且适用于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 压电传感器 压电薄膜层 压电薄膜 依次设置 胶粘层 支撑体 底座 第二电极 第一电极 批量化 体积小 质量块 重量轻 生产 | ||
【主权项】：
1.一种压电传感器，其特征在于，包括底座，依次设置在底座上的第一胶粘层、压电薄膜层、第二胶粘层和质量块，所述压电薄膜层包括支撑体，依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极，所述压电薄膜的厚度为0.1‑10μm。
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