[发明专利]MEMS传感器有效
| 申请号： | 201811174126.5 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109246566B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;冷群文 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司;北京航空航天大学青岛研究院 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS传感器，包括：衬底以及通过间隔部支撑在衬底上方的振膜，所述衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与衬底之间的距离；检测结构，所述检测结构用于输出表征振膜变形的电信号；驱动装置，所述驱动装置被配置为：为振膜提供朝远离真空腔方向抵抗外界压力的力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器，包括：衬底以及通过间隔部支撑在衬底上方的振膜，所述衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与衬底之间的距离；检测结构，所述检测结构用于输出表征振膜变形的电信号；驱动装置，所述驱动装置被配置为：为振膜提供朝远离真空腔方向抵抗外界压力的力。
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