[发明专利]一种大角度翻转晶圆浸泡装置

摘要

本发明涉及一种大角度翻转晶圆浸泡装置，储液槽及电动执行器分别安装在底板上，片盒位于储液槽内，储液槽内的下部盛有浸泡晶片的化学液，上部的槽壁上开有供机械手将晶片送入片盒中的传片窗口；升降连杆的一端通过升降架与电动执行器的输出端相连，另一端插入储液槽内、与片盒铰接；倾斜气缸安装在升降架上，倾斜连杆内嵌于升降连杆中，一端与倾斜气缸的输出端相连，另一端通过中间连杆组件与片盒铰接。本发明通过机械手将晶圆放入储液槽内的片盒中，可同时浸泡多片晶圆；倾斜连杆内嵌于升降连杆中，运动平稳，片盒可实现大角度翻转，实现了在湿法处理过程中对晶圆浸泡更高效及更安全的要求。