[发明专利]一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液及制备方法在审
| 申请号： | 201811178442.X | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109136887A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张毅;张新学;刘龙平 | 申请（专利权）人： | 深圳市互连微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/18 | 分类号： | C23C18/18;C23C18/32 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液及其制备方法，用于解决现有技术中在精细线路中容易出现渗镀、漏镀以及工序繁琐的问题。本申请实施例提供了一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液，以浓度计，所述活化液包括：钯盐8ppm‑15ppm；无机酸0.1mL/L‑20mL/L；表面活性剂0.01g/L‑1g/L；加速剂0.01g/L‑0.1g/L；络合剂0.1g/L‑10g/L；其余为去离子水。因此，通过对活化液配方的改进，解决现有技术中在精细线路中容易出现渗镀、漏镀以及工序繁琐的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 离子钯活化液 金属铜表面 化学镀镍 精细线路 渗镀 制备 表面活性剂 活化液配方 去离子水 活化液 加速剂 络合剂 浓度计 无机酸 钯盐 申请 改进 | ||
【主权项】：
1.一种金属铜表面化学镀镍离子钯活化液，其特征在于，以浓度计，包括：![]()
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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