[发明专利]光刻胶显影剂在审
| 申请号： | 201811179196.X | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109782553A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 訾安仁;郑雅如;张庆裕;林进祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
一种光刻胶显影剂，包含具有25<δd<15、25<δp<10和30<δh<6的汉森(Hansen)溶解度参数的溶剂；具有‑15 |
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| 搜索关键词： | 光刻胶显影剂 螯合物 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶显影剂，包括：一第一溶剂，具有25<δd<15、25<δp<10和30<δh<6的汉森(Hansen)溶解度参数；一酸，具有‑15<pKa<4的酸解离常数pKa，或一碱，具有40>pKa>9.5的pKa；以及一螯合物。
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