[发明专利]对被处理体进行处理的方法

摘要

本发明提供一种对被处理体进行处理的方法。提供在串行地执行多个工艺的情况下能够灵活地设定执行工艺的顺序、执行工艺的定时等工艺的执行方式的技术。一个实施方式所涉及的对被处理体进行处理的方法具备包括主工艺和第一～第M副工艺并串行地执行多个工艺的工序，表示主工艺的一次执行的指标值在每次执行主工艺时被累加，主工艺被执行多次，第i副工艺(1≤i≤M)被执行一次或多次，第i副工艺在从工序开始起累加的指标值的累计满足可变的第i应用条件的情况下被应用，第i副工艺在从最后被执行的副工艺的执行时(在工序中未执行副工艺的情况下为工序开始时)起累加得到的指标值的合计满足可变的第i执行条件的时间点被执行。

主权项

1.一种对被处理体进行处理的方法，具备串行地执行包括主工艺和第一副工艺～第M副工艺的多个工艺的工序，其中，M为正整数，表示所述主工艺的一次执行的指标值在每次执行该主工艺时被累加，所述主工艺在所述工序中被执行多次，第i所述副工艺在所述工序中被执行一次或多次，i为满足1≤i≤M的正整数，第i所述副工艺继所述主工艺的一次或连续多次的执行之后被执行，在从所述工序开始起累加的所述指标值的累计满足第i应用条件的情况下，第i所述副工艺在该工序中被应用，在从所述工序开始起累加的所述指标值的累计满足第i所述应用条件的情况下，第i所述副工艺在该工序开始后存在已经执行的副工艺时从最后被执行的该副工艺的执行时起累加得到的该指标值的合计满足第i执行条件的时间点被执行，或者，第i所述副工艺在该工序开始后不存在已经执行的副工艺时从该工序开始时起累加得到的该指标值的合计满足第i执行条件的时间点被执行，第i所述应用条件和第i所述执行条件均能够变更。