[发明专利]卡盘工作台机构

摘要

提供卡盘工作台机构，能够对翘曲的形状的板状物进行保持。卡盘工作台机构是具有卡盘工作台、静电吸附部以及真空吸附部的复合卡盘工作台机构。卡盘工作台具有作为对板状物进行保持的保持面的上表面。静电吸附部具有电极，该电极设置于卡盘工作台的内部，通过被提供电力而使作为保持面的上表面带电，从而对板状物进行静电吸附。真空吸附部具有多孔部，该多孔部与上表面形成为同一水平面且与吸引源连通，并且设置有作为吸引口的微细的孔。控制单元实施对电极的电力提供和对多孔部的负压提供，通过复合力对板状物进行吸附。

主权项

1.一种卡盘工作台机构，其是具有静电吸附部和真空吸附部的复合卡盘工作台机构，其中，该卡盘工作台机构具有：卡盘工作台，其具有对板状物进行保持的保持面；电极，其设置于该卡盘工作台的内部，通过被提供电力而使该保持面带电，从而对该板状物进行静电吸附；吸引口，其形成于该保持面且与吸引源连通；以及控制单元，其实施对该电极的电力提供和对该吸引口的负压提供，通过复合力对该板状物进行吸附。