[发明专利]激光加工装置在审
| 申请号： | 201811182763.7 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109664036A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 若林直树;东条公资 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能检测出经加工对象物反射的激光的返回光入射至激光光源的激光加工装置。本发明的激光加工装置包括：激光光源(10)，输出加工用激光(L1)；检查用光源(20)，输出波长与加工用激光(L1)不同的检查用激光(L2)；光波导(60)，供加工用激光(L1)及检查用激光(L2)从入射面(61)入射，且使加工用激光(L1)及检查用激光(L2从出射面(62)向加工对象物(2)出射；以及检测器(90)，检测检查用激光(L2)经加工对象物(2)反射并从光波导(60)的出射面(62)入射且从入射面(61)出射的返回光(Lr)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 激光加工装置 加工对象物 入射 激光光源 检查 出射面 返回光 光波导 入射面 加工 出射 反射 检测器 输出波长 检测 光源 输出 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其特征在于包括：激光光源，输出加工用激光；检查用光源，输出波长与所述加工用激光不同的检查用激光；光波导，供所述加工用激光及所述检查用激光从入射面入射，且使所述加工用激光及所述检查用激光从出射面向加工对象物出射；以及检测器，检测所述检查用激光经所述加工对象物反射并从所述光波导的所述出射面入射且从所述入射面出射的返回光。
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