[发明专利]使用元表面的傅里叶变换干涉仪有效
| 申请号： | 201811186556.9 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109813430B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 朴研相 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李敬文 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种傅里叶变换干涉仪，包括相变板，该相变板包括：反射层，被配置为对入射的第一光进行反射；以及元表面，被配置为局部地且不同地改变被反射的第一光的相位。该傅里叶变换干涉仪还包括：光电检测器，被配置为检测第二光，以及半透半反镜和反射镜，被配置为：使入射的第三光的第一部分透射到相变板；使第三光的剩余部分透射到光电检测器；以及使得相位被局部地且不同地改变的第一光透射到光电检测器。光电检测器还被配置为检测第三光的剩余部分与相位被局部地且不同地改变的第一光之间的干涉图案。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 表面 傅里叶变换 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种傅里叶变换干涉仪，包括：相变板，包括：反射层，被配置为对入射的第一光进行反射；以及元表面，被配置为局部地且不同地改变被反射的第一光的相位；光电检测器，被配置为检测第二光；以及半透半反镜和反射镜，被配置为：使入射的第三光的第一部分透射到所述相变板；使所述第三光的剩余部分透射到所述光电检测器；以及使相位局部地且不同地改变的第一光透射到所述光电检测器，其中，所述光电检测器还被配置为检测所述第三光的剩余部分与相位局部地且不同地改变的第一光之间的干涉图案。
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