[发明专利]一种用于切割SiC晶体的切割液配制方法有效
| 申请号： | 201811187394.0 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109251786B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 汪良;张洁 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10M177/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于切割SiC晶体的切割液配制方法，利用SiC晶体的切割液的装置配制而成，所述SiC晶体的切割液的装置包括储液桶、进气孔隔板，压缩空气进气口、恒温水盘管、超声波发生器、电动机、搅拌叶轮和温度监控传感器；本发明用于切割SiC晶体的切割液配制方法，配制出来SiC晶体切割液浓度均匀性比较好、不存在颗粒团聚，可以大大提高切割液的切割能力，切割出来的晶片弯曲度、翘曲度及总厚度无偏差，而且有效降低晶片后道加工难度，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 切割 sic 晶体 配制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于切割SiC晶体的切割液配制方法，其特征在于，利用SiC晶体的切割液的装置配制而成，所述SiC晶体的切割液的装置包括储液桶、进气孔隔板，压缩空气进气口、恒温水盘管、超声波发生器、电动机、搅拌叶轮和温度监控传感器；所述用于切割SiC晶体的切割液配制方法具体步骤包括：S10，在储液桶中，放入50L的矿物油，打开搅拌叶轮对矿物油进行搅拌1min～5min，搅拌同时打开恒温水盘管，设定控制温度为45℃～80℃；S20，S10中矿物油温度达到设定温度后，开压缩空气进气口，往储液桶中倒入3kg切割磨料得混合物，混合物混合12h～24h得切割液；S30，取用配制好的切割液，放入切割机供液桶中进行SiC晶体切割。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建北电新材料科技有限公司，未经福建北电新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811187394.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电梯钢丝绳专用润滑油
- 下一篇：一种用于耐磨材料的齿轮油的配方
