[发明专利]一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置

摘要

本发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置，所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置，生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置，氩气缓冲装置包括氩气管，生长炉侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管，氩气管为弧形结构，氩气管的出口处安装有缓冲垫，缓冲垫上均匀设有出气孔，氩气管外侧壁的上端安装有连接箱，氩气管的上端面安装有连接杆。本发明可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能，具有对氩气进行缓冲，减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。

主权项

1.一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉(1)、生长转动提升装置(2)和氩气缓冲装置(3)，其特征在于：所述生长炉(1)的上端安装有生长转动提升装置(2)，生长转动提升装置(2)的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置(3)；其中：所述的氩气缓冲装置(3)包括氩气管(31)，生长炉(1)侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管(31)，氩气管(31)的出口处安装有缓冲垫(32)，缓冲垫(32)上均匀设有出气孔，氩气管(31)外侧壁的上端安装有连接箱(33)，氩气管(31)的上端面安装有连接杆(34)，连接杆(34)在其周向方向均匀分布，连接杆(34)的上端面安装有氩气连接管(35)，连接杆(34)上安装有控量机构(36)，连接箱(33)的上端面安装有倾斜防护板(37)，倾斜防护板(37)的上端与氩气连接管(35)侧壁的上端连接，氩气连接管(35)内侧壁的上下端均安装有连接板(38)，连接板(38)之间安装有固定杆(39)，固定杆(39)侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板(310)。