[发明专利]一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺

摘要

本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、硅棒、夹套盖板、外冷却夹套和内冷却夹套构成。本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺通过在硅棒外设置双层冷却夹套，利用双层夹套之间的冷却空隙中的冷气通过在内层夹套上部开孔，将更多的冷量提供给夹套内上部，实现夹套内上下温度的均匀性，保证硅棒生长的均匀性；采用向下喷射原料气的原料气进口管强化炉内流动，有利于消除局部SiH4浓度过高的现象。

主权项

1.一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉，其特征在于所述的热分解炉由钟罩(1)、底板(2)、硅棒(3)、夹套盖板(4)、外冷却夹套(5)和内冷却夹套(6)构成；所述的钟罩(1)为带有冷却水夹套的双层结构，其下部为圆筒型上部为椭圆型；所述的底板(2)为带冷却水夹套的双层结构、呈圆盘状；所述的底板上设有石墨电极(21)，尾气出口管(22)，原料气进口管(23)，所述的石墨电极(21)垂直贯穿设置于底板(2)上，所述的尾气出口管(22)垂直贯穿设置于底板(2)的中心，所述的原料气进口管(23)垂直贯穿设置于底板(2)的外沿附近，所述的原料气进口管(23)的下端伸出底板下面，上端为180度的弯头伸出底板上面，所述的原料气进口管(23)的弯头的最高点高出底板上面的高度为所述钟罩的圆筒型部分高度的1/3～1/2；所述的硅棒(3)为一倒U型硅棒，其两端分别支撑在石墨电极(21)上；所述的硅棒(3)的垂直段套有内冷却夹套(6)；所述的内冷却夹套(6)的侧面均匀地开有4个与其中心轴平行的长条形导流孔(61)；所述的长条形导流孔(61)的开孔角度为ɑ，所述的ɑ的值为10～30度；所述的长条形导流孔(61)长度为H2，所述的长条形导流孔(61)的上端与内冷却夹套(6)的上端的距离为H1，所述的长条形导流孔(61)的下端与内冷却夹套(6)的下端的距离为H3；所述的H1、H2和H3的数值比例关系为H1：H2：H3＝1～2:3～8:4～8；所述的内冷却夹套(6)外套有外冷却夹套(5)构成双层冷却夹套；所述的双层冷却夹套上部盖有夹套盖板(4)；所述的钟罩(1)扣在底板上。