[发明专利]一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法

摘要

本发明公开了一种机械切削‑离子束刻蚀制备光栅方法，克服制作高密度刻线的衍射光栅过程中，切削刀具刀尖圆角使得光栅衍射效率下降的影响。本发明是一种在机械切削基础上采用离子束刻蚀的方法，通过一块机械切削母板光栅复制而来的子板光栅，在其表面镀上Al或GaAs膜等其他反射膜，并选择合适离子束入射角进行离子束刻蚀，刻槽槽底圆弧部分离子束刻蚀速率比刻槽其它部分快，可清除圆弧，使得圆弧刻蚀成尖角，且光栅闪耀角在离子束刻蚀过程中保持不变，刻槽深度增加，提高光栅衍射效率。与一般全息‑离子束刻蚀光栅相比，本发明提供的机械切削‑离子束刻蚀制备光栅方法，易于实现小闪耀角简便，易显著提高光栅使用波段的衍射效率等优势。

主权项

1.一种机械切削‑离子束刻蚀制备光栅方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一、机械切削出具有高密度刻线并具有小闪耀角的原刻衍射光栅，原刻衍射光栅作为母板衍射光栅，用于复制子板衍射光栅；步骤二、确定用于复制子板衍射光栅的镀膜材料及膜层厚度；确定离子束在子板衍射光栅表面的入射角，使复制衍射光栅的刻槽槽底圆弧部分得以清除，具有小闪耀角的刻槽轮廓面最宽化；步骤三、对机械切削的原刻衍射光栅进行子板衍射光栅复制，并在复制子板衍射光栅过程中镀膜，用于离子束刻蚀加工；步骤四、子板衍射光栅在离子束入射角情况下，进行离子束刻蚀加工，使得复制衍射光栅的刻槽槽底圆弧部分得以清除。