[发明专利]物料传输系统以及物料传输方法有效
| 申请号： | 201811191183.4 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109300830B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 吴功;冯迪 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢绪宁;薛赟 |
| 地址： | 201112 上海市闵行区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种物料传输系统以及物料传输方法，该物料传输系统采用一自动运输装置，其具有至少一机械手，且自动运输装置能够自由地沿着任意方向任意路径运动；自动运输装置通过机械手取放至少一个物料盒。由于采用了具有机械手的自动运输装置，取消了传统空中轨道传输系统中的单盒轨道天车和空中轨道的设置，从而克服了传统空中轨道传输系统在设计时的复杂度高、后期调整时的难度高且受限、以及在实际应用中受限的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 物料 传输 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种物料传输系统，其特征在于，采用一自动运输装置(700)，其具有至少一机械手，且所述自动运输装置(700)能够自由地沿着任意方向任意路径运动；所述自动运输装置(700)通过所述机械手取放至少一个物料盒(706)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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