[发明专利]包括保护装置的管状靶材在审
| 申请号： | 201811191898.X | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN109609917A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 克里斯汀·林克;曼弗莱德·苏利克;马丁·卡特赖因 | 申请（专利权）人： | 普兰西欧洲股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张凯;张杰 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于阴极雾化的管状靶材(1)，其不具有背衬管并且由钼或钼合金制成，具有至少在某些区域中与冷却介质接触的内表面(3)，其中所述内表面(3)中至少一个区域通过至少一个保护装置(4)与所述冷却介质隔开。作为实例，所述保护装置(4)可以采用聚合物层的形式。所述管状靶材(1)具有极好的长期稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 保护装置 管状靶材 冷却介质 内表面 长期稳定性 聚合物层 阴极雾化 背衬管 钼合金 隔开 | ||
【主权项】：
1.一种用于阴极雾化的管状靶材(1)，其不具有背衬管并且由钼或钼含量至少为50at.％的钼合金制成，所述管状靶材包括溅射表面(2)以及至少在某些区域中与冷却介质接触的内表面(3)，特征在于，所述内表面(3)中至少一个区域通过至少一个保护装置(4)与所述冷却介质隔开，其中所述保护装置包括至少一种聚合物并且是粘附在所述内表面(3)上的单层或多层的涂层。
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