[发明专利]一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法有效

专利信息
申请号: 201811194862.7 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN109282866B 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 于建志;薛庆军 申请(专利权)人: 山东科技大学
主分类号: G01F1/58 分类号: G01F1/58
代理公司: 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 代理人: 林琪超
地址: 266590 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供了一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法,气体微流量计包括流量计外壳,在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管。进气管的中部设置有电磁阀导气孔,进气管的后部设置有电容导气孔。气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连,出气管的下部与电磁阀导气孔相连,出气管内设置有电磁阀,电磁阀能控制出气管的通闭,待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器,造成气体测量电容器电容值变化。本发明通过气体测量电容器电容值的变化,实现单位时间内微流量气体的流量测量的目的,气体测量电容器感知灵敏,电容值变化速度快,因此微流量气体的流量测量精度非常高且迅速,适用于精密测量。
搜索关键词: 一种 高精度 气体 流量计 流量 测量方法
【主权项】:
1.一种高精度气体微流量计,其特征在于,包括流量计外壳,在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管,所述进气管的中部设置有电磁阀导气孔,进气管的后部设置有电容导气孔;所述气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连,出气管的下部与电磁阀导气孔相连,出气管内设置有电磁阀,电磁阀能控制出气管的通闭;待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器,造成气体测量电容器电容值变化。
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