[发明专利]多晶硅生产过程中废气的回收方法有效
| 申请号： | 201811196199.4 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN111036029B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 侯雨;王惠;宋高杰;相文强;董越杰;赵阳 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;张萍 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产过程中废气的回收方法，该方法使用吸附装置对废气进行回收，吸附装置包括吸附柱，包括以下步骤：1)将多晶硅生产过程中的废气通入吸附装置的吸附柱，吸附柱内装填有吸附剂，通过吸附剂吸附废气中的氯硅烷、硼、磷、金属氯化物；2)将吸附柱进行分段解析，先解析出吸附的氯硅烷，再解析出吸附的其余杂质。本发明中的回收方法通过分段解析将吸附柱吸附的杂质进行分离，将吸附柱吸附的氯硅烷与其余的杂质分离开，这样可以充分有效的回收利用氯硅烷，而且能够去除氯硅烷中的大量杂质，提高氯硅烷的纯度，且该回收方法回收效率高，能耗低，并且可以通过选择性回收，降低回收氯硅烷中的杂质含量，提高原料和产品的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 废气 回收 方法 | ||
【主权项】：
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