[发明专利]物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201811197971.4 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109668554A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 永田和幸;菊池尊行;金本启 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，并能够高精度地检测作为检测对象的物理量。本发明的物理量传感器具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 弹簧 物理量传感器 基板 惯性测量装置 弹簧常数 第二检测 第一电极 电子设备 方向位移 检测电极 检测对象 移动体 电极 支承 第二电极 隔开间隔 配置的 相等 检测 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。
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