[发明专利]腔室密封组件及生长炉有效
| 申请号： | 201811201774.5 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111058093B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 冯祥雷 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种腔室密封组件及生长炉，该腔室密封组件环绕设置在炉膛法兰与反应腔体之间，其包括：密封圈；以及密封隔环，所述密封隔环的轴向两侧均设置有密封圈，用于分隔并支撑密封圈；并且，在密封隔环中设置有第一抽气通道，第一抽气通道的第一端和第二端分别位于密封隔环的内周壁和外周壁上；在炉膛法兰中设置有第二抽气通道，第二抽气通道的第一端与第一抽气通道的第二端连接；第二抽气通道的第二端用于与抽气装置连接。本发明提供的腔室密封组件，其不仅可以避免空气泄入反应腔体中，同时可以提高腔室拆卸维护的效率，避免存在的损坏反应腔体的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 组件 生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
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