[发明专利]液态试剂监测系统及方法在审
| 申请号： | 201811201991.4 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111060184A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01G17/04 | 分类号： | G01G17/04;G01F22/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种液态试剂监测系统及方法。该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。本公开涉及的液态试剂监测系统及方法，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光刻胶管路空管导致产品的报废。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 试剂 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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