[发明专利]一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法有效
| 申请号： | 201811202056.X | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109269980B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘锡;唐燕;谢仲业;刘江辉;赵立新;胡松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法，连续型激光经过准直扩束，被显微物镜聚焦形成强聚焦光场，捕获并操控单个介质微球，实现单光镊介质微球。照明光束经准直后，经过物镜照明样品，通过CCD相机采集图像。成像时，物体表面结构信息先经过被捕获的微球，后进入显微镜，最后由CCD成像，可实现高分辨率成像。本发明在实现介质微球操控的同时，还能实现高的成像分辨率，能够在远场区域，通过面成像方式，实现特征尺寸220nm的微纳结构测量，具有高分辨力、并行、快速测量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 单光镊 介质 高分辨率 光学 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法，其特征在于：所述方法包括步骤为：步骤S1：在操控光路中，准直扩束后的激光束后经物镜聚焦形成单个光势阱，从而捕获单个介质微球，操控并移动介质微球获得最佳成像效果；步骤S2：在照明光路中，白光光源经过准直后，经过显微镜，再经过介质微球，对样品进行照明；步骤S3：利用CCD采集图像，进行成像分析，评估介质微球分辨能力得到高分辨率图像。
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