[发明专利]一种硅片位置信息采集系统以及方法

摘要

本发明提供了一种硅片位置信息采集系统以及方法，包括装置基板、分布在所述装置基板设置的多个测量模块、在所述装置基板设置的采集模块，所述测量模块用于测量硅片位置信息，所述采集模块用于采集所述硅片位置信息，所述多个测量模块通过多个导线连接所述采集模块，其中，所述测量模块为位置传感器，其通过机械手将其遍历硅片摆放位置的同时采集硅片位置信息，获得硅片位置与机械手位移的对应信息，并通过所述传输模块将硅片位置信息上传至上位系统内，机械手调整摆放硅片位置，完成硅片定位。本发明操作简单，使用方便，功能强大、定位准确、采集效率高，具有极大的商业价值。

主权项

1.一种硅片位置信息采集装置(1)，其特征在于，包括装置基板(11)、分布在所述装置基板(11)设置的多个测量模块(12)、在所述装置基板(11)设置的采集模块(13)，所述测量模块(12)用于测量硅片位置信息，所述采集模块(13)用于采集所述硅片位置信息，所述多个测量模块(12)通过多个导线(14)连接所述采集模块(13)，其中，所述测量模块(12)为位置传感器。