[发明专利]一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置有效
| 申请号： | 201811202472.X | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109133067B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 唐子凡;张磊;庞大宇;肖承祥;张思源 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 于超 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市即墨市蓝色硅*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能级多晶硅制造领域，尤其涉及一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置。本发明具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°‑60°，降低熔炼过程中边缘位置凝固层的厚度，增强电子束的熔炼效果。本发明在装置使用时通过控制电子束熔炼多晶硅过程中不同阶段的电子束扫描模式，来提高电子束熔炼多晶硅的效率，缩短生产时间，降低生产能耗，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 电子束 熔炼 多晶 效率 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种提高电子束熔炼多晶硅效率的装置，其特征在于：具有熔炼坩埚，熔炼坩埚的侧壁和底板之间的连接角设有向内的倾斜面，倾斜角度为45°‑60°。
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