[发明专利]一种基于肖特基势垒的气体光检测器在审
申请号: | 201811202489.5 | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN109239025A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01N27/12;B82Y15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于肖特基势垒的气体光检测器,包括弧面在下方的半圆形透光棱镜,半圆形透光棱镜的平面上方设置有气体感应层,气体感应层的上方设置有N型半导体层,N型半导体层的上方设置有金属层,金属层与外接电源的正极电连接,N型半导体层外接电源的负极电连接;基于肖特基势垒的气体光检测器,通过在检测器中设置气体感应层,由入射光入射气体感应层从而引起肖特基结的肖特基势垒发生变化,不同气体填充在气体感应层,会引起肖特基势垒不同的变化,在已知入射光特性的情况,根据肖特基势垒的变化,判断待测气体的特性,该基于肖特基势垒的气体光检测器,结构简单,实现了基于肖特基势垒检测器的多用能应用。 | ||
搜索关键词: | 肖特基势垒 气体感应 光检测器 检测器 外接电源 金属层 棱镜 透光 负极电连接 入射光特性 待测气体 气体填充 肖特基结 入射光 正极电 弧面 入射 应用 | ||
【主权项】:
1.一种基于肖特基势垒的气体光检测器,其特征在于:包括弧面在下方的半圆形透光棱镜(1),所述半圆形透光棱镜(1)的平面上方设置有气体感应层(2),所述气体感应层(2)的上方设置有N型半导体层(3),所述N型半导体层(3)的上方设置有金属层(4),所述金属层(4)与外接电源的正极电连接,所述N型半导体层(3)外接电源的负极电连接。
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