[发明专利]测试方法及测试系统

摘要

本申请实施例提供一种测试方法及一种测试系统，该方法通过确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔。扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴。基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率。利用基于多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从多个驱动频率中确定使扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率。判断扫频间隔是否满足精度要求。如果是，将目标驱动频率作为扫描振镜任一扫描轴的共振频率。如果否，基于目标驱动频率调整扫频范围以及扫描间隔，并返回基于扫频范围及扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。本申请可获得待测MEMS中扫描振镜慢轴和快轴的共振频率。

主权项

1.一种测试方法，其特征在于，包括：确定对应扫描振镜任一扫描轴的驱动信号的扫频范围及扫频间隔；其中，所述扫描振镜任一扫描轴包括扫描振镜慢轴或扫描振镜快轴；基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率；利用基于所述多个驱动频率生成的驱动信号依次驱动所述待测MEMS的扫描振镜任一扫描轴振动，以从所述多个驱动频率中确定使所述扫描振镜任一扫描轴产生最大振动幅值的目标驱动频率；判断所述扫频间隔是否满足精度要求；如果是，将所述目标驱动频率作为所述扫描振镜任一扫描轴的共振频率；如果否，基于所述目标驱动频率调整所述扫频范围以及所述扫描间隔，并返回基于所述扫频范围及所述扫频间隔，确定多个驱动频率的步骤继续执行。