[发明专利]一种微小型镀膜原子气室封装工艺

摘要

本发明公开了一种微小型镀膜原子气室封装工艺，它包括如下步骤：第一步：采用“Piranha”溶液清洗气室内壁；第二步：用纯净水冲洗；第三步：对气室进行烘干和除气处理；第四步：将气室接入真空系统、充气；第五步：镀膜气室封装。其优点是：1)利用液氮对膜层起到了有效的保护作用，降低了气室内壁温度应力，避免了高温火焰对膜层的破坏，提高了气室的抗弛豫特性，进而提高了核磁共振陀螺、原子磁强计的性能；2)利用小火焰下台，火焰尺寸降到与气室尺寸相比拟的状态，从而降低了火焰对气室破坏，保护了膜层。微小型镀膜原子气室封装工艺，解决了微小型镀膜原子气室在封装过程中膜层被破坏的问题，实现了膜层的保护，提高了气室膜层的抗弛豫特性。