[发明专利]衍射光学元件检测方法与系统在审
| 申请号： | 201811209796.6 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109342028A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 黄杰凡;王兆民;黄源浩;肖振中;刘龙;许星 | 申请（专利权）人： | 深圳奥比中光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 程丹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衍射光学元件检测系统及方法，包括：光源，用于发射光束；透镜，用于汇聚所述光源发射的光束并投射平行光束，在标定时直接投射到检测器上，在测定时投射到DOE上；DOE，接收、分束所述平行光束，并投射衍射光束；检测器，在标定时接收所述透镜投射的平行光束；在测定时，接收所述DOE投射的衍射光束；控制处理器，与光源及检测器连接，用于控制光源发射光束以及检测器采集光束，同时接收来自检测器采集的光束图像并对光束图像进行处理以检测DOE的性能。通过该系统和方法，可以对DOE进行性能检测，对批量DOE进行分类，从而提升光学模组的质量与产品的一致性，避免不良产品可能造成的后期危害。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 投射 平行光束 衍射光学元件 透镜 光束图像 衍射光束 标定 光源 采集 光源发射光束 控制处理器 不良产品 发射光束 光学模组 光源发射 检测系统 性能检测 检测 分束 汇聚 分类 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件检测系统，其特征在于，包括：光源，用于发射光束；透镜，用于汇聚所述光源发射的光束并投射平行光束，在标定时直接投射到检测器上，在测定时投射到DOE上；DOE，接收、分束所述平行光束，并投射衍射光束；检测器，在标定时接收所述透镜投射的平行光束；在测定时，接收所述DOE投射的衍射光束；控制处理器，与光源及检测器连接，用于控制光源发射光束以及检测器采集光束，同时接收来自检测器采集的光束图像并对光束图像进行处理以检测DOE的性能。
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