[发明专利]采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器

摘要

本发明涉及采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，定电极单端悬浮结构体采用装配式定电极结构，包括定电极装配式悬浮外壳、支撑于定电极装配式悬浮外壳内的定电极绝缘体、弹性定位器、焊接于定电极装配式悬浮外壳顶部的端盖、设于端盖与定电极绝缘体之间的三波压簧、焊接于端盖上的玻璃绝缘子，定电极装配式悬浮外壳、端盖、三波压簧分别采用与定电极绝缘体热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制成且表面镀金。本发明从根本上解决现有电极单端悬浮的电容压力传感器存在的生产效率低、生产成本高的问题，测量结果受温度影响极小，保证了传感器的测量精度，稳定性好。

主权项

1.一种采用装配式定电极的电极悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，动电极单端悬浮结构体包括带引压口支座、上夹持环、夹持焊接固支于带引压口支座和上夹持环之间的动电极，带引压口支座的上表面设有对应动电极的抛物凹面A和位于抛物凹面A外周的环形固支平面A，上夹持环的下表面设有与抛物凹面A边缘相对的抛物凹面B和位于抛物凹面B外周的环形固支平面B，上夹持环的上端为不受约束自由端，其特征在于：所述定电极单端悬浮结构体采用装配式定电极结构，其包括定电极装配式悬浮外壳、支撑于定电极装配式悬浮外壳内的由恒弹性绝缘材料制作的定电极绝缘体、弹性定位器、焊接于定电极装配式悬浮外壳顶部的端盖、设于端盖底面与定电极绝缘体顶面之间的三波压簧、焊接于端盖上的封接有柱状电极的玻璃绝缘子，所述定电极绝缘体的下端为不受约束自由端且底面设有与抛物凹面A中部相对的抛物凹面C，且抛物凹面C上设有导电膜层，所述导电膜层上设有绝缘膜层，所述导电膜层依次通过定电极绝缘体内设置的金属化管状电极、定电极绝缘体顶面的欧姆接触膜和锥形弹簧与柱状电极导通，所述定电极装配式悬浮外壳的底面边缘和带引压口支座的顶面边缘分别设有薄壁刃口，二者的薄壁刃口对接焊接在一起形成薄壁刃口焊口，所述定电极装配式悬浮外壳、端盖、三波压簧分别采用与定电极绝缘体热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制成且表面镀金。