[发明专利]一种高频电源的校正系统

摘要

本发明公开了一种高频电源的校正系统，包括高频电源、自动校正模块、高频功率产生源以及除杂转低模块，所述高频电源与所述自动校正模块和所述高频功率产生源分别连接，所述高频功率产生源与所述除杂转低模块连接；本发明的自动校正模块包括电力输出控制单元，给自动校正模块输入由电力值检测单元检测出的电力检测值，根据电力检测值与电力设定值的差值求取实际偏移值，然后电力输出控制单元根据实际偏移值和电力设定值调整目标电力输出值，使输入阻抗匹配器的高频电力的值成为电力设定值的方式，调整从高频电源的电力输出端子输出的高频电力，大幅缩短电源校正所需的时间，增加校正的准确性。