[发明专利]一种新型多晶硅生产预热方法及其装置在审
| 申请号： | 201811214725.5 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111072029A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 周昆;游俊;廖丰杰;张义;彭小树 | 申请（专利权）人： | 四川宏图普新微波科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;F27B17/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 胡晓 |
| 地址： | 614000 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型多晶硅生产预热方法及其装置，包括相互连接的底盘和炉罩，所述底盘上设置有电极，电极与电加热电源相连；所述炉罩还连接有微波发生器；本发明采用微波照射加热和电加热相结合的方式对硅芯进行加热，常温状态下硅芯以非金属性为主，此时微波加热效率高，随着硅芯电阻率降低，金属性增强，微波照射的加热效率降低而电加热的效率不断提高，其兼具了微波加热和电加热的优点，同时克服了现有技术中能耗大、加热效率低、操作繁琐等缺陷，能够有效提高多晶硅的生产效率，具有良好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 多晶 生产 预热 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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