[发明专利]一种双周期结构制备系统及方法在审
| 申请号： | 201811215346.8 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111077735A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 徐佳;张红鑫;王泰升;许文斌;蔺春波;刘建卓;王鹤;许家林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供的双周期结构制备系统及方法，利用激光经过扩束整形以及调控后得到的六束相干光，在样品表面汇聚形成干涉场，使得激光光强在干涉场内重新分布，材料表面形成具有周期性双周期结构图形，在进行光刻时，可以无需掩模而直接或者间接在材料上进行干涉曝光，通过调整想干光束的空间角和入射角，形成具有六边形、双周期分布的仿生双周期结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双周 结构 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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