[发明专利]可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法有效
申请号: | 201811215916.3 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN109435494B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 谢丹;李波;舒霞云;莫靖宇;许克宇;陈文奂;吴常健 | 申请(专利权)人: | 厦门理工学院 |
主分类号: | B41J3/44 | 分类号: | B41J3/44;B41J3/46;B41J29/393 |
代理公司: | 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 | 代理人: | 麻艳 |
地址: | 361024 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法,其通过设置图像采集装置,用于实时监测液滴沉积成膜过程,通过观察咖啡环形成图像,结合“咖啡环效应”的影响因素,在沉积过程中,根据实验要求,抑制或利用“咖啡环效应”成膜,最终达到了实时监测和变换的目的,制作复杂图形的薄膜。还可以通过上述方法,获取某一材料的最佳成膜参数,再以该参数进行成膜,最终制作出均匀复杂图形的薄膜。 | ||
搜索关键词: | 控制 咖啡 效应 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种可控制咖啡环效应的成膜方法,其特征在于:通过图像采集装置实时监测液滴沉积成膜过程,再根据监测的图像,通过调节“咖啡环效应”的影响参数,控制“咖啡环效应”,完成均匀沉积薄膜。
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