[发明专利]可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法有效

专利信息
申请号: 201811215916.3 申请日: 2018-10-18
公开(公告)号: CN109435494B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 谢丹;李波;舒霞云;莫靖宇;许克宇;陈文奂;吴常健 申请(专利权)人: 厦门理工学院
主分类号: B41J3/44 分类号: B41J3/44;B41J3/46;B41J29/393
代理公司: 泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221 代理人: 麻艳
地址: 361024 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种可控制咖啡环效应的成膜方法、成膜装置及控制方法,其通过设置图像采集装置,用于实时监测液滴沉积成膜过程,通过观察咖啡环形成图像,结合“咖啡环效应”的影响因素,在沉积过程中,根据实验要求,抑制或利用“咖啡环效应”成膜,最终达到了实时监测和变换的目的,制作复杂图形的薄膜。还可以通过上述方法,获取某一材料的最佳成膜参数,再以该参数进行成膜,最终制作出均匀复杂图形的薄膜。
搜索关键词: 控制 咖啡 效应 方法 装置
【主权项】:
1.一种可控制咖啡环效应的成膜方法,其特征在于:通过图像采集装置实时监测液滴沉积成膜过程,再根据监测的图像,通过调节“咖啡环效应”的影响参数,控制“咖啡环效应”,完成均匀沉积薄膜。
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