[发明专利]掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法有效
| 申请号： | 201811217652.5 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109182967B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李旭伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 张雨竹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法，涉及蒸镀技术领域，可实现显示面板在显示区开孔的设计。一种掩模板，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板，其特征在于，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。
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