[发明专利]光栅制备在线监测方法及系统

摘要

本发明提供一种光栅制备在线监测方法及系统，其中方法包括以下步骤：将一个扫描周期内采集的等间距光栅阵列数据组成j·i矩阵，该矩阵的行代表波长步进，列代表采样点，j为波长步进总个数，i为所有采样点个数；对j·i矩阵逐列进行寻峰，得到光栅的实际位置，根据m个光栅的空间位置信息，将等间距光栅阵列数据矩阵中对应位置的m列数据取出，得到j·m矩阵，对其每一列数据进行累加，得到一个新的1×i的矩阵[n1 n2…ni]，其中ni是由j个数据点组成，对于每一个ni，依次比较λ1‑i～λj‑i，得到每一列的最大值为[x1 x2…xi]；假设扫描光源起始波长设置为λ0，则待测光栅波长为[λ1 λ2…λi]，其中λi＝λ0+xi/1000；对所有待测光栅波长取加权平均值得到平均波长值，进一步得到待测光栅波长与平均波长差值；将该波长差值逐次与标准差值Δ比较，若波长差值大于标准差值，则该光栅波长异常。

主权项

1.一种光栅制备在线监测方法，其特征在于，包括以下步骤：将一个扫描周期内采集的等间距光栅阵列数据组成j·i矩阵该矩阵的行代表波长步进，列代表采样点，j为波长步进总个数，i为所有采样点个数；对j·i矩阵逐列进行寻峰，峰值个数不为0，则峰值处即为反射光强最大的位置，认为此处有光栅存在，其余位置则认为无光栅存在，寻峰后获得所有m个光栅的空间位置信息，根据m个光栅的空间位置信息，将等间距光栅阵列数据矩阵中对应位置的m列数据取出，获得m个j×1数组，组成j·m矩阵数组每列分别代表了m个光栅在频域中的信息；将j·m矩阵的每一列数据进行累加，得到一个新的1×m的矩阵[n1 n2 … nm]，其中ni＝[λ1‑i λ2‑i … λj‑i]T i∈[k,k+m‑1]，对于每一个ni，依次比较λ1‑i～λj‑i，得到每一列的最大值为[x1 x2 … xi]；假设扫描光源起始波长设置为λ0，则待测光栅波长为[λ1 λ2 … λi]，其中λi＝λ0+xi/1000；对所有待测光栅波长取加权平均值得到平均波长值为进一步得到待测光栅波长与平均波长差值为[Δλ₁ Δλ₂ … Δλ_i]；将该波长差值逐次与标准差值Δ比较，若波长差值大于标准差值，则该光栅波长异常。